粤港澳真空科技创新发展论坛暨广东省真空学会2021年学术年会 成功举行

11月18-20日，由广东省科学技术协会、广东省科学技术厅、广州市科学技术协会指导，广州国际技术交易服务中心有限公司、广东省真空学会、广东省真空产业技术创新联盟主办的粤港澳真空科技创新发展论坛暨广东省真空学会2021年学术年会在增城成功举办！本次会议有来自广东省内外大专院校、研究院所和公司企业的科学家、工程师、技术人员和管理人员共300余人参加，鹏诚半导体技术（深圳）有限公司也荣兴受邀参会。

会议主题“新材料、新能源、新机会“。现场共35个学术报告，设真空装备与工艺、光电功能薄膜与器件、硬质涂层与表面工程等3个专题会场，现场针对”面向航空部件表面防护PVD涂层技术开发“、”CVD合成金刚石“、”超硬/硬质薄膜材料的韧化及环境自适应设计“、“新能源时代 真空技术的机会与挑战”等与在座各位进行了分享、交流互动，就真空行业在新能源、新材料开发热潮的新机会进行了深入的讨论。

会后，各大专院校、研究院所及公司企业科学家、工程师、技术人员等也纷纷来到鹏城半导体展位参观指导，现场工作人员零距离与各科学家、工程师等就公司主要产品分子束外延设备（MBE)、磁控溅射仪、高真空热蒸发镀膜机进行技术交流、探讨，再次将本次会议推向了高潮。

关于鹏城半导体     

鹏城半导体技术（深圳）有限公司，由哈尔滨工业大学（深圳）、北京琨腾科技有限公司以及有多年实践经验的工程师团队共同发起创建。公司立足于技术前沿与市场前沿的交叉点，寻求创新引领与可持续发展，解决产业的痛点和国产化难题，争取产业链的自主可控。

公司核心业务是半导体材料、工艺和装备的研发设计、生产制造。

公司人才团队知识结构完整，有以哈工大教授和博士为核心的高水平材料研究和工艺研究团队；还有来自工业界的高级装备设计师团队和工艺工程师团队，他们具有20多年成套装备设计和生产制造经验。

公司依托于哈尔滨工业大学（深圳），具备先进的半导体研发平台和检测仪器，可以在高起点开展科研工作。公司已具有4000多平米洁净厂房，可开展半导体材料和组件的中试、生产，同时可进行半导体装备的生产和调试。

公司在半导体装备方面已形成多种产品系列，可供用户购买。

业绩展示

完全自主设计制造的分子束外延（MBE）设备，包括自主设计制造的MBE超高真空外延生长室、工艺控制系统与软件、高温束源炉、高温样品台、Rheed原位实时在线监控仪（反射高能电子衍射仪）、直线型电子枪、膜厚仪（可计量外延生长的分子层数）、射频源等关键部件。真空度达到2×10-8Pa。

设备于2005年在浙江大学光学仪器国家重点实验室投入使用，至今仍在正常使用。

设计制造磁控溅射与等离子体增强化学气相沉积法PECVD技术联合系统，应用于团簇式太阳能薄膜电池中试线。使用单位中科院电工所。

设计制造了金刚石薄膜制备设备，应用于金刚石薄膜材料的研究与中试生产设备。现使用单位中科院金属研究所。

设计制造了全自动磁控溅射设备，可加水平磁场和垂直磁场，自行设计的真空机械手传递基片。应用于高密度磁记录材料与器件的研究和中试。现使用单位国家光电实验室。

设计制造了OLED有机半导体发光材料及器件的研究和中试成套装备。现使用单位香港城市大学先进材料实验室。

设计制造了MOCVD及合金退火炉，用于GaN和ZnO的外延生长，实现LED无机半导体发光材料与器件的研究和中试。现使用单位南昌大学国家硅基LED工程技术研究中心。

设计制造了磁控溅射研究型设备。现使用单位浙江大学半导体所。

设计制造了电子束蒸发仪研究型设备。现使用单位武汉理工大学。